レーザ光、触針、探針、電子ビームなどのプローブ技術と波長標準にトレーサブルなレーザ光源を用いた各種干渉計を用いて、幾何形状標準（真直度、平面度、真円度、三次元座標標準）、微小寸法・微細形状標準（一次元および二次元グレーティング、線幅、段差、表面粗さ）、角度標準（ロータリエンコーダ、ポリゴン、オートコリメータ）の確立、標準供給、国際比較、ナノメトロロジーなどの先端計測技術の研究業務を行っています。

幾何標準研究室は、NMIJ計測クラブ活動として以下の２つのクラブを運営しております。

　 幾何クラブ

クラブ内容：
現在依頼試験で対応している角度測定器以外の器物についての校正の要求についてニーズをうかがいます。
またロータリエンコーダ校正装置によるポリゴン鏡とオートコリメータの校正技術の確立について、意見交換を行います。
NMIJの研究紹介、海外動向紹介、ロードマップの作成など情報の共有を図ります。
ロータリエンコーダ、ポリゴン鏡、オートコリメータなどいずれかの持ち回り測定を行います。

　 非接触三次元測定アセスメントクラブ

クラブ内容：
縞投影やレーザスキャンなどの技術を利用して、非接触で工業製品や人体形状を測定する装置の利用が増えています。
現在産総研ではコンソーシアム（光学式非接触三次元測定機標準）を設置してこのような装置の精度評価法を
標準化するための活動を行っています。

研究室員のページを更新しました。（2012.5.17）
　　　 　主任研究員　三隅伊知子 （2012.5.1より総務本部 人事部 人材開発企画室に異動）

　独立行政法人　産業技術総合研究所　計測標準研究部門 長さ計測科　幾何標準研究室

　〒305-8563 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第3
　TEL&FAX：029-861-4041